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手东探针台
手动探针台是一种用于精密测试微电子器件电性能参数的辅助执行机构,通过手动调节探针位置实现与被测点的精准接触,并配合外部测试设备获取数据。 以下从结构原理、应用场景、发展现状及使用环境四个方面展开说明:结构与工作原理核心组件:由载物台(chuck)、显微镜、探针座(含X-Y-z三向调节旋钮)及探针杆组成。
综上所述,1160系列多用途手动探针台凭借其全面的功能、高精度的设计以及广泛的兼容性,成为RF/mmW、DC、CV-IV、MEMS探测和高功率应用领域的理想分析工具。
手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个稳定的测试平台。探针台能够吸附多种规格的芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可以完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数的检测。因此,探针台非常适用于对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。
RF探针台价格因品牌、配置和自动化程度差异巨大,从数千元到数百万元不等。 价格范围概览手动基础型:约6900元,适用于亚微米级晶圆测试,需手动三维调节。半自动/高功率专用型:如MPI的TS150-HP型号,约8万元(需5000台起批)。
探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针尖端放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针尖端都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。
手动探针台。PM8是一款高度稳定,符合人体工程学和灵活配置的8英寸手动探针台,用于精确的分析测量应用,诸如器件和晶圆表征。



